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Domaines d'expertise
Physique de la matière condensée (couches minces,
surfaces et interfaces) ; matériaux nanostructurés ; physique ; plasmas
froids (ablation laser et RF).
Sujets de recherche
Films minces de silicates à haute constante
diélectrique; nanotubes de carbone par évaporation laser; oxydes
semiconducteurs nanostructurés; vieillissement accéléré de la
cellulose par irradiation laser ; nanocomposites magnétiques en
couches minces (applications HF)
Applications technologiques
Dispositifs de
microélectronique (CMOS), photonique et télécommunications ; senseurs ;
nanoélectronique ; nanotechnologies ; revêtements fonctionnels pour les
applications à haute valeur ajoutée.
Cours reliés, science et technologie des plasmas
Techniques de micro et nanofabrication (cours
actuellement en élaboration)
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