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Domaines d'expertise
Physique (physique des
plasmas); physique de la matière condensée (surfaces, interfaces et
couches minces)
Sujets de recherche
Plasmas, couches minces, nanomatériaux, procédés
de micro et nano fabrication, composants électroniques ou
millimétriques
Applications technologiques
Composants pour la microélectronique et les
télécommunications, revêtements fonctionnels (applic. haute technologie)
, nanotechnologies
Laboratoires et groupes reliés
Laboratoire de
micro et de nanofabrication (LMN)
Laboratoire en science et
applications des plasmas (LSAP)
Système d'écriture direct par laser pour la
réalisation de microstructures
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